應用
（1）幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。
（2）位置精度的檢測及其自動補償 可檢測數控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。
（3）數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償
（4）雙軸定位精度的檢測及其自動補償
（5）數控機床動態性能檢測 可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態特性分析，伺服驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性（低速爬行）分析等。
技術參數
5D/6D標準型：
1. 線性：0.5ppm .
2. 測量范圍：40米（1D可選80米）
3. 線性分辨力：0.001um.
4. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值
5. 范圍：800角秒
6. 滾動角精度：1.0角秒
7. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值
8. 直線度范圍：500um
9. 垂直度精度：1角秒
10. 溫度精度：0.2攝氏度
11.濕度精度：5%
12.壓力精度：1mmHg
主要特點
1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角
2. 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器
3. 可選的無線遙控傳感器最長的控制距離可到25米
4. 可測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性
5. 全套系統重量僅15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架
6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調整步驟，減少了調整時間
7、激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等，以及測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性等。
8、激光干涉儀的光源——激光，具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。
9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。
注意事項
1、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環境中應用。
2、在移動儀器時，為防止導軌變形，應托住底座再進行移動。
3、儀器的光學零件在不用時，應在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發霉。
4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應當小心擦拭，利用科學的方法進行清潔。
5、導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件，應當保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。
6、在使用時應避免強旋、硬扳等情況，合理恰當的調整部件。
7、避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿，保持其不失油。
